中科飞测(688361)
持股比例：7.77 %，持股数量：501.11万，变动情况：43.28万

唯捷创芯(688153)
持股比例：6.27 %，持股数量：688.58万，变动情况：205.68万

茂莱光学(688502)
持股比例：6.13 %，持股数量：99.46万，变动情况：不变

盛美上海(688082)
持股比例：4.89 %，持股数量：370.89万，变动情况：32.33万

索辰科技(688507)
持股比例：4.50 %，持股数量：64.45万，变动情况：不变

北京君正(300223)
持股比例：4.00 %，持股数量：1663.67万，变动情况：不变

华大九天(301269)
持股比例：3.81 %，持股数量：999.06万，变动情况：139.65万

圣邦股份(300661)
持股比例：3.48 %，持股数量：1566.65万，变动情况：118.31万

北京君正(300223)
持股比例：3.45 %，持股数量：1663.67万，变动情况：不变

芯原股份(688521)
持股比例：3.35 %，持股数量：1644.43万，变动情况：77.57万

圣邦股份(300661)
持股比例：3.33 %，持股数量：1566.65万，变动情况：118.31万

芯原股份(688521)
持股比例：3.29 %，持股数量：1644.43万，变动情况：77.57万

中电港(001287)
持股比例：2.48 %，持股数量：471.01万，变动情况：新进

盛科通信-U(688702)
持股比例：2.27 %，持股数量：90.91万，变动情况：新进

卓胜微(300782)
持股比例：2.25 %，持股数量：1002.01万，变动情况：96.97万

兆易创新(603986)
持股比例：2.19 %，持股数量：1453.42万，变动情况：不变

兆易创新(603986)
持股比例：2.18 %，持股数量：1453.42万，变动情况：不变

沪硅产业(688126)
持股比例：2.06 %，持股数量：5613.37万，变动情况：不变

沪硅产业(688126)
持股比例：2.04 %，持股数量：5613.37万，变动情况：不变

卓胜微(300782)
持股比例：1.88 %，持股数量：1002.01万，变动情况：96.97万

茂莱光学(688502)
持股比例：1.88 %，持股数量：99.46万，变动情况：不变

华大九天(301269)
持股比例：1.84 %，持股数量：999.06万，变动情况：139.65万

江波龙(301308)
持股比例：1.58 %，持股数量：178.50万，变动情况：新进

拓荆科技(688072)
持股比例：1.58 %，持股数量：162.29万，变动情况：不变

中微公司(688012)
持股比例：1.27 %，持股数量：786.72万，变动情况：不变

中微公司(688012)
持股比例：1.27 %，持股数量：786.72万，变动情况：不变

浪潮信息(000977)
持股比例：1.02 %，持股数量：1495.43万，变动情况：129.69万

浪潮信息(000977)
持股比例：1.02 %，持股数量：1495.43万，变动情况：129.69万

北方华创(002371)
持股比例：1.00 %，持股数量：531.04万，变动情况：不变

北方华创(002371)
持股比例：1.00 %，持股数量：531.04万，变动情况：不变

盛美上海(688082)
持股比例：0.85 %，持股数量：370.89万，变动情况：32.33万

中电港(001287)
持股比例：0.62 %，持股数量：471.01万，变动情况：新进

深科技(000021)
持股比例：0.58 %，持股数量：911.39万，变动情况：新进